能谱仪是用来对资料微区成分元素品种与含量剖析，合作扫描电子显微镜与透射电子显微镜的运用。各种元素具有自己的X射线特征波长，
能谱仪是用来对资料微区成分元素品种与含量剖析，合作扫描电子显微镜与透射电子显微镜的运用。各种元素具有自己的X射线特征波长，特征波长的巨细则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△E，能谱仪是使用不同元素X射线光子特征能量不同这一特点来进行成分剖析的。
牢靠的AutoID主动元素辨认；在不同计数率下，均可精确定量；确保计数率从1000到100000cps改变，谱峰漂移及分辨率改变1eV；在高记数率下，完成主动和同批改；优异的低能端剖析性，检测元素Be4到Pu94；能谱仪可实测的MnKa分辨率；契合ISO 15632：2002规范要求；快速牢靠的剖析功用，依据优异的一体化体系
INCAEnergy经典导航形式；简略易操作；5秒内即可得到优异的剖析成果；在不同计数率下均可进行相对有用的和峰校对，完成精确定量；60秒内就能够完满足谱面剖析收集；能谱仪多种陈述输出方法；AZtecEnergy牛津能谱仪新一代能谱软件；Tru-Q无标量定量批改技能可比美有标样定量成果；TruMap实时堆叠峰剥离及背底扣除的线位多任务能谱剖析软件
界面中有五个功用模块，每个都清楚的显现收集过程；能谱仪最高分辨率可到达2048；可一起保存二次电子像（SE）和背散射电子像（BSE）；能够对点、矩形区域、椭圆形区域以及自界说区域进行收集。
依据线上点的数量或点与点的距离界说线扫描；主动收集整条线的X射线谱图；能谱仪能够在一个视场内进行多条线扫描；主动标识元素；无标样定量；和峰批改；快速简洁的陈述模版功用；多种供挑选的模版；以Microsoft Word格局输出。
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