牛津仪器Ultim Extreme无窗超级能谱

  SEM中EDS剖析高空间分辨率和低能端功能。将Extreme电子电路、无窗规划与几许结构和传感器的优化规划相结合,灵敏度比传统大面积SDD高15倍。

  Ultim Extreme 硅漂移探测器是高分辨率场发射扫描电镜运用的一个打破,可供给远远逾越传统微米和纳米剖析的解决方案。

  Ultim Extreme是Ultim Max系列中的一款无窗能谱,晶体面积100mm2,经优化规划来尽可能进步灵敏度和空间分辨率。它选用跑道型结构规划,优化高分辨率场发射扫描电镜在低加快电压和短作业间隔下作业时的成像和EDS功能,运用Ultim Extreme,EDS的空间分辨率挨近扫描电镜的分辨率。

  Ultim Extreme是高分辨率场发射扫描电镜运用中的一个打破性解决方案。该探测器完成了在低的加快电压(例如1-3kV)和十分短的作业间隔下进行EDS数据收集和元素剖析,从而在高SEM分辨率下剖析纳米资料和外表的元素信息。

  高分辨率场发射扫描电镜可拿来研讨更小的纳米结构、界面和外表。但是,在这些剖析条件下,作业间隔很小,作业电压非很低,束流需求尽可能小以充沛的运用镜筒内探测器的电子信号,但现在没有EDS可供给此类元素表征。Ultim Extreme的呈现改变了这种现状,它专为此类剖析而规划:

  在传统EDS装置接口上使立体角尽可能进步。立体角一般比Ultim 170大5倍,传感器与试样的间隔缩短为一般探测器的一半

  新式电子电路进步对极低能量X射线的灵敏度, 增强了高计数率下低能量X射线的剖析才能

  将AZtec Live和Tru-Q ®剖析引擎结合完成低加快电压下的数据处理和剖析

  为了完成这种共同的几许结构,Ultim Extreme选用非圆形100mm2传感器和无窗规划,这种规划已成功用于X-Max N 100TLE,以优化TEM的灵敏度。此外,该探测器选用新式的体积更小的的电子圈套规划,可在高达7kV的电压下进行准确定量剖析,并在较高能量下进行元素定性剖析

  网格标样栅格网标样扩大倍率校对标样金颗粒标样2-30nm,分辨率测定标样

  高功能电动汽车等高新技能范畴对高效动力转化的需求日积月累,在这些范畴高效动力转化必不可少。SiC 和 GaN 资料的运用降低了能耗。牛津仪器经过原子层堆积(ALD)技能、等离子体辅佐蚀刻和堆积技能优化了工艺,进步了器材的能效。

  Ultim Extreme SEM中EDS剖析高空间分辨率和低能端功能。将Extreme电子电路、无窗规划与几许结构和传感器的优化规划相结合,灵敏度比传统大面积SDD高15倍。

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